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伺服行星减速机在单晶硅生产机械的应用方案

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日期:2021-04-15

单晶硅生产中常用的方法为直拉法,即克劳斯基法。直拉法是半导体、太阳能电池单晶生长用的最多的一种晶体生长技术。拉速的大小和稳定性直截决定了晶体生长质量的好坏。拉升过程中的抖动或拉升速度不均,均能导致晶体生长的晶格产生错位。晶体提升结构中,伺服和行星减速机是关键部件,因而客户对行星减速机有一定要求: 


伺服行星减速机在单晶硅生产机械的应用方案


用户要求伺服电机转速在10rpm的情况下,经过伺服行星减速机后输出速度稳定控制在0.1rpm。由此,朱氏蚂蚁给客户选配伺服行星减速机速比为: I=10/0.1=100,针对用户之前一直用其他品牌行星减速机,安装尺寸同朱氏蚂蚁伺服行星减速机标准尺寸存在差异。工厂按用户要求,将尺寸变更为同用户之前用其它品牌一样的尺寸,方便客户安装,测试。 


尺寸的改变体现在2个部分,其余按样本标准:


1、输出轴轴径选为Φ22,轴长改为40mm。


2、分布圆直径改为Φ100。 


朱氏蚂蚁完全按照用户所配伺服电机的接口尺寸定做。另外,针对输出端尺寸不同于朱氏蚂蚁伺服行星减速机样本上标注尺寸的用户,我们可以根据客户要求来定做尺寸,且在尺寸变化不是特别大的情况下,价格和货期不受影响。这样可极大的保障用户安装的方便性。 


伺服行星减速机

避免低速抖动现象这点非常关键,行星减速机的低速抖动问题在市场上比较常见,而单晶硅生产工艺要求,其生长速度不能过快。我们的解决方法:


1、提高减速机精度,降低减速机背隙,我们选行星减速机PF系列减速机匹配;


2、修正减速机内部的啮合齿轮,增大啮合面;


3、与伺服电机的连接方式上,采用独特的锁紧结构,确保伺服同减速机连接的稳定性。 


基于以上,客户对使用朱氏蚂蚁减速机完全没有后顾之优,比较乐意使用朱氏蚂蚁行星减速机,客户开始正式试用并对其要求的各项指标做测试。 


通过客户对朱氏蚂蚁减速机的实际使用及测试,朱氏蚂蚁伺服行星减速机产品性能稳定可靠,单晶硅棒拉出效果良好,将所生产出的晶锭切割成晶片时,晶片为纯硅晶片。同时,从用户生产成本上考量,使用朱氏蚂蚁系列行星减速机来替代其它品牌行星减速机,在性能不改变的情况下,降低了设备的生产成本。


通过近半年来客户的测试,客户已非常满意朱氏蚂蚁伺服行星减速机的品质。目前,用户已开始批量向我们下单。现在该行业已有不同地区客户对朱氏蚂蚁伺服行星减速机比较认可,并稳定成交。相信随着后续各地区的不断推进,朱氏蚂蚁伺服行星减速机在单晶硅生产设备上的市场占有率会不断提高。更多产品信息请关注我们朱氏蚂蚁电机(www.zsmy.cc)


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